消费者应用这种氦质谱检漏仪能够从根本上保证这种产品拥有良好的应用价值,在我国更多的产品漏率检查之中原先更好的技术支持,因此氦质谱检漏仪的优势更保证了我国产品漏问题检查的质量。检漏仪全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10 -11 Pam3 / s 数量级,仪器响应快,
仪器工作在稳定的状态,在仪器的检漏口喷一定量的氦气, 分别采取持续抽、空气清氦、氮气清氦的清氦方式,仪器再按开始键,记录清氦所需时间。而通过实验表明,利用氮气来清氦的效率是高的。鉴于仪器在检漏的过程中氮气清氦的优越性,对仪器的系统进行改进。增加清氦电磁阀。在氦质谱检漏仪中增加氮气清洗设置,有效的避免了在检漏过程中,氦气残留对仪器检测灵敏度的影响,另外仪器控制中还可以增加大漏保护设置,即仪器在检测到大漏时,仪器自动停止,防止大量氦气再进入仪器中。再者将前级泵换成干泵也是不错的选择,利于对仪器的清氦,保证仪器检测的高灵敏度。
采用试验件对机翼整体油箱漏率进行摸索,整体油箱试验件检漏总体上分为两个部分: -是粗漏漏点检测与工艺修补;二是氦质谱细漏检测,粗漏检测过程涉及的主要设备有压缩空气气源、自动配气平台、控制阀等。试验时,首先接通压缩空气气源,启动整体油箱快速检漏设备,设定充气气压。充气过程结束后,稳压15min, 观测检漏设备上的压降曲线,确定是否存在粗漏。若压降明显,说明有粗漏漏点存在。经肥皂泡方法确定粗漏漏点位置后,真空氦式检漏系统,利用涂密封胶的方法对粗漏漏点进行工艺修补,重复检测修补后,至油箱试验件在规定时间内的压降符合技术要求后,可以进行氦质谱细漏检测。
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