检漏设备：质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。氦质谱检漏主要领域：航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等。
检漏技术在真空领域占有非常重要的地位，它关系到真空设备的各项真空指标，如何快速地找到漏点关系到企业的生产效率与经营成本。氦质谱检漏仪是第二次期间快速发展起来的一种高精度检漏仪，其灵.敏度高达10-15pa:m3/s。当今常见的氦质谱检漏仪灵敏度在10-9 ~10-13pa.m3/s。氦质谱检测技术以其灵敏度高、速度快、使用安全、适用范围广以及可以量化漏点的漏率等特点，在航空、航天、汽车和电力行业得到了广泛的应用，与其他诸多传统检漏方法相比，氦质谱检漏具有的技术优越性。采用氦质谱检漏技术，可以实现飞机机翼整体油箱渗漏点的快速定位检测与修补，保证机翼 翼盒的高质量、率装配。
对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，电力行业检漏厂，无毒，不腐蚀零件；氦质谱检漏主要领域：空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa.m3/s），然后对氦罩冲氦。
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