氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体，但也有用氢气(H)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦气检漏仪特有的清氦系统，快速有效地清除超标的氦本底，保证检测的稳定性和准确性；实时监测氦气压力和浓度，保证了工件检测的精度；
我们应用此检漏技术对发电厂机组汽轮机进行了真空系统检漏，效果良好。应用氦质谱检漏仪对发电厂汽轮机真空系统进行检漏一般包括真 空法和吸法。本次对发电厂机组进行的真空系统检漏测试试验采用吸法。机组正常运行时，真空系统内部处于负压状态，空气通过漏点被吸入凝汽器，终通过水环真空泵抽出，经过气水分离器从排气口排至大气。测试前，将氦质谱检漏仪测试口与吸探头通过吸气线连接，并将吸探头装设在分离器排气口处，启动氦质谱检漏仪，待检漏仪经过自检程序启动完毕，即可进入试验待检状态。
化锂吸收式制冷机是以热能为动力，汽车行业氦检解决方案，水和化锂水溶液为工质对的低耗电，低噪音的环保型制冷机。利用水在真空状态下，较低温度就可以蒸发的原理，制取冷水。主要有蒸汽型，燃油型，高低温水型，高温水大温差型，冷温水同时供给型，广泛用于楼宇，制造行业的制冷采暖系统。化锂吸收式制冷机对于机体内部气密性要求很高，若机体内部有微量的不凝性气体，会对机器性能产生严重影响。在制冷量严重降低的同时，容易对机体产生巨大的腐蚀，产生铁锈，铜锈并容易对喷嘴，泵体，过滤器造成堵塞。所以对于化锂吸收式制冷机来说，检漏是的。
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