检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，氦质谱真空检漏，正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时，在漏点处喷射氦气5～10s后，检漏仪就发生响应，杭州检漏，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，真空箱氦检漏，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。
主要配置：检漏仪专用分子泵。机械泵或者干泵。定制检漏仪专用电磁阀。内置标准漏口。 放大器。质谱专用模块。氦质谱检漏仪不会受到主观因素判断的影响；检测的数据精准；自动生成数据保存，可追溯数据来源。笔者根据实测经验，两次喷氦的较小间隔时间控制在30s左右，即如果次喷氦后30s内检漏仪还没有反应，则可进行第二次喷氦。
一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体，但也有用氢气(H)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，真空箱式氦检漏，所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择：无害，不能对人体或环境造成伤害;质量轻，惰性气体，穿透能力强，能穿透微小细缝;化学性质稳定，不会引起化学反应;氦气检漏仪可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯，极大降低氦气损耗（功能可选）；
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