氦质谱检漏仪主要技术指标：1. 小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s主要配置：检漏仪专用分子泵。机械泵或者干泵。定制检漏仪专用电磁阀。内置标准漏口。 放大器。质谱专用模块。氦质谱检漏仪设备内芯制造借鉴国外先进技术，具有灵敏度高，反应快，开机时间短等特点，是一款液晶触摸彩屏显示的全自动氦质谱检漏仪。
据日本有关文章介绍，日本汽车制造业，苏州检漏，已有30多种零部件在使用氦质谱检漏仪检漏，解决密封问题。其中包括液压系统、制动系统、转向系统、避震系统、汽车轮毂。氦质谱检漏仪应用制冷行业：冰箱、空调、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择：无害，电力绝缘套管检漏，不能对人体或环境造成伤害;质量轻，惰性气体，穿透能力强，能穿透微小细缝;化学性质稳定，不会引起化学反应;
检漏时喷枪在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间，即为两次喷氦的较小间隔时间，当然真空系统越庞大，该间隔时间也越长。检漏仪对示漏气体的要求：在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，满足检漏灵敏度方面的要求，真空箱检漏，减少本底干扰检测的准确性。据日本有关文章介绍，电厂氦质谱检漏仪，日本汽车制造业，已有30多种零部件在使用氦质谱检漏仪检漏，解决密封问题。其中包括液压系统、制动系统、转向系统、避震系统、汽车轮毂。
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