一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体,但也有用氢气(H)作为示漏气体的,上海检漏仪,考虑到它的化学性质及危险性,在应用中较少使用,所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择:无害,不能对人体或环境造成伤害;质量轻,惰性气体,穿透能力强,能穿透微小细缝;化学性质稳定,不会引起化学反应;氦气检漏仪可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯,极大降低氦气损耗(功能可选);
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏,氦质谱测漏仪,简便易操作,仪器反应灵敏,氦气检漏仪价格,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。检漏时喷枪在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间,真空氦气检漏仪,即为两次喷氦的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,该间隔时间也越长。检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度,正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时,在漏点处喷射氦气5~10s后,检漏仪就发生响应,对于如此庞大的真空系统,其反应是相当的灵敏。
氦气检漏仪触摸屏实时显示监测数据和运行参数,监控一目了然。电气控制系统的连锁保护及声光报警功能,确保了系统的操作安全及可靠运行。氦质谱检漏仪主要技术指标:1. 小可检漏率:5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率显围:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
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